无尘无氧化烤箱

发布：admin 浏览：749次

　　无尘无氧化烤箱是研发部门为苏州晶方半导体有限公司的12寸晶圆生产工艺而研发的采用镜面不锈钢作为内胆经过一次成型处理以保证含氧量达到20ppm以下，隔热层为工业级保温棉无渗透无污染，保证烘烤300℃时箱体体表温度在常温以下，控制系统用PLC+人机界面配合微电脑控制温控器带PID自动演算功能以保证箱体温度均匀性为±1℃

• 上一篇：非标设计
• 下一篇：热风式自动控制隧道炉

返回列表